Российские учёные создали плазму для новых литографов

Российские физики получили плотную и горячую плазму, которая станет основой для источников экстремального ультрафиолетового излучения. Эти источники необходимы для создания новых литографов — устройств, используемых при производстве микросхем. ferra.ru »