Российские инженеры разработали установку для плазмохимического осаждения (ПХО) на кремниевых пластинах диаметром 300 мм. Опытный образец создан в Научно-исследовательском институте точного машиностроения (НИИТМ), входящем в группу компаний «Элемент».
ferra.ru2025-3-21 19:30