Nikon создала собственную систему литографии DSP-100 для замены круглых «вафель»
Nikon представила новое литографическое оборудование DSP-100, предназначенное для упаковки микросхем на больших квадратных панелях размером до 600 мм. Эта технология может заменить традиционные круглые 300-мм кремниевые пластины — т. ferra.ru »